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常用的(de)有機废氣處理方法有光氧催(cui)化、低温等离子、微波催化、催化(hua)燃烧、活性炭吸附、生物药液降解(jie)等，无機废氣因為要脱硫脱硝(xiao)工(gong)藝较复雜本文不做說明。这些有(you)機废氣(qi)因所處行業、浓度不同適合於(yu)不同的(de)處理方法，不能一概而论(lun)那種方(fang)法好，哪種方法不(bu)好，要具體問(wen)題(ti)具體分析。
利(li)用特殊的高能高臭氧催化氧化。UV紫外光束照射废氣，使(shi)有機或无機聚合物分子鏈與(yu)臭氧反應，在高能紫外光束照射下產生低分(fen)子化合物，例如CO2.H2O等。投(tou)资費(fei)用低，適用(yong)範围廣(guang)，净化效率高，操作簡單，除臭效果好，設備運行稳(wen)定，占地小，運行費用低，随用随開，不(bu)會造成二次污染。
吸附法利用吸附剂的吸附功能使有機废(fei)氣物質由氣相(xiang)轉移至固相，適用於處理低浓(nong)度，高净化要求的有機废氣。净化效率高，可處理多組(zu)分有機废氣，吸附剂成本高，再生困难(nan)，需要處理(li)的(de)有機废氣温度和粉尘含量低。
低温等离子體等离子體内部(bu)產生富(fu)含極高化學活性的粒子，如電(dian)子、离子(zi)、自由基和激发態分子等(deng)。废氣中的污染物質與这些具有较高能(neng)量的活性基團(tuan)发生反應，轉化為CO2和H2O等物(wu)質，从而(er)達到净化废氣的目的。多組分(fen)有機废氣，適用(yong)範围廣(guang)，净化效率高，特別適用於(yu)其他方法难以處理的多組分有機废(fei)氣，設備(bei)占地(di)面积小；電子能量高，几乎(hu)能與所有有機废(fei)氣分子发挥作用；運行成本低；反(fan)應(ying)快，停(ting)得很快，随時可以使用。但對含水、含尘、有機(ji)废氣易爆炸，一次性投资費高。
也叫催化燃烧(shao)法（RTO）有機废氣在高温下(xia)與(yu)燃料氣充分混合，在催化剂(三氧化(hua)二铝(lv)或二氧化钛)中完全燃烧。適用於處理高浓度、小(xiao)氣量的可燃氣體(ti)，净化效率高，有機废(fei)氣被完全氧化分解，但(dan)設備易腐(fu)蚀，燃料消(xiao)耗，處理成本高(gao)，易造成二(er)次污染。
水(shui)吸收法（喷淋塔）利用有(you)機废氣(qi)中某些物質溶於水的特性，使有機废(fei)氣成分直接接触水(shui)，溶(rong)於水，達(da)到去除的目的。適用(yong)於有組織排放源的(de)水溶性有機废氣。工藝簡單，管理方便，設備運行成本低，但二次(ci)污染，需要處理洗涤(di)液；净化效率低，應與其它技術結合(he)使用，對有機(ji)废氣的(de)處理效果较差。
催化氧化反應塔内裝填特製的固(gu)態复合(he)填料，填(tian)料内部复合催化剂(ji)。当(dang)有機废氣在引風機的作用下通過填(tian)料層，充分接触固相填料表面的特(te)殊(shu)喷嘴化學品，在催化剂的催(cui)化作用(yong)下，有機废氣中的污染因素完全分解。適用(yong)範围廣(guang)，尤其適(shi)用於處理大氣(qi)量、中高浓度的(de)废氣，對(dui)疏水性污染物質有很好的去除率(lv)。占地面积小，投(tou)资低(di)；管理方便，即開即用；抗冲擊(ji)负荷，不(bu)易受到污染物浓度和温度變化的影響。需要消耗一定量的药物，運行成本高，催化剂(ji)操作不当會中毒，造成二次污染。
光化學(xue)利用恶臭物質吸收光子，同時(shi)反應過程中產生的羟基自由基、活性氧等強化(hua)基團(tuan)也可以參與氧化反應，从而達到降解恶(e)臭物質(zhi)的目的。適用於(yu)低浓度、能吸收光子的污染(ran)物，能(neng)處理大氣量、低浓度的有(you)機废氣(qi)，操作簡單，占地面积小。對不能吸收光子的污染(ran)物質效(xiao)果差，對於(yu)成分复雜的废氣无法達到预期處理效(xiao)果。
光氧催化是光化學(xue)和催化氧化方(fang)法的升級，結合光化學和催化氧化，處理效果更好，无催化剂中毒和复(fu)雜废氣處(chu)理缺陷，運行成本(ben)较低，由於(yu)催化剂在中低温条(tiao)件下的作用，能耗较低。對VOCS氣體的异(yi)味(wei)，甲苯、甲醛、二(er)甲苯等氣體處理效率能達到(dao)96%以上。經過十年左右的科研(yan)攻關和数以千計的案例分析比较(jiao)，云藍废氣處理研究院发現，针(zhen)對VOCS，目前，光氧催化是一種较為有效、節約成本的废氣處理方法，尤其對(dui)浓度在100-800mg/m3废氣可以(yi)完全處理掉。
